カソードルミネッセンス走査型電子顕微鏡の開発とナノサイズ発光素子の開発及び評価

半導体デバイスの高速化を目指して、ナノサイズの光デバイスをシリコン基板上に直接形成した光電子集積回路の開発に関する研究が盛んに行われています。私たちは、特に発光素子の開発並びに評価を行うために、形状の観察だけでなく、材料自体の発光の様子も同時に撮影できる、カソードルミネッセンス走査型電子顕微鏡を開発しました。

左の写真は、次世代の光電子集積回路の発光素子として注目されているポーラスシリコンの観察結果です。形状観察では全く一様に見える領域であっても、発光する領域と発光しない領域があることが分かります。
現在、このポーラスシリコンの発光機構の解明並びに、デバイスへの応用を目指した研究を行っています。