研究内容

私たちの研究室では、新しい計測・分析技術ならびに、新しい概念に基づく電子顕微鏡などの装置の開発を研究の柱としています。さらに独自に開発した計測・分析技術や装置を用いて、表面や界面で起こる種々の現象の原子・分子スケールでの解明を目指した応用研究も行っています。

応用研究の対象は、従来の金属、半導体といった無機材料だけでなく、有機ELやイオン液体といった有機材料、および細胞組織やDNAなどの生体材料もターゲットとしています。

また、新しい装置を開発する際の装置設計、あるいは実験で得られる結果の予測や得られた結果の解釈などにおいては、実験物理だけでなく理論計算やシミュレーションなどを用いた計算物理の観点からのアプローチも行っています。実験物理と計算物理を車の両輪とし、より高性能な装置の開発、より深い自然現象の理解を目指しています。

私たちが現在行っている研究課題は、以下の6つのグループに大別することができます。

1. バイオ電子顕微鏡の開発と応用


2. 超電子顕微鏡の開発と応用


3. 電子顕微鏡による表面・界面構造解析

  • 透過型電子顕微鏡によるhigh-k HfSiO膜のナノスケール構造解析
  • 超解像位相差電子顕微鏡法を用いたSi/Si熱酸化膜界面構造の研究
  • 集束イオンビームによる超微細加工と断面透過電子顕微鏡法による界面の研究(金属・半導体・誘電体)

4. 新しい電子顕微鏡・装置の開発


5. 表面・界面物性


6. 計算物理学

  • 高分解能電子顕微鏡構造解析のための新しい画像処理法の確立
  • 分子軌道法による表面・界面の電子状態の研究
  • 高時間精度X線検出アルゴリズムの開発
  • 表面電子分光スペクトルの定量解析
  • 電子線励起X線スペクトルのモンテカルロシミュレーション
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